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      產(chǎn)品詳情
      • 產(chǎn)品名稱:日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000

      • 產(chǎn)品型號(hào):
      • 產(chǎn)品廠商:日立(Hitachi)
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      簡(jiǎn)單介紹:
      日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000分辨率1.2 nm @ 30 kV,可選配低真空模式,真空范圍: 10 - 300 Pa,可選配5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)、能譜儀 (EDS)、波譜儀 (WDS)、背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)等多種附件。
      詳情介紹:
      日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000特點(diǎn):
      ▲高性能電子光學(xué)系統(tǒng)
      二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)*
      高靈敏度: PD-BSD, 強(qiáng)的低加速電壓性能,低至100 V成像
      大束流(>200 nA): 便于微區(qū)分析
      ▲性能優(yōu)良
      壓力可變: 具有優(yōu)的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)*
      開倉室快速簡(jiǎn)單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
      微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等
      *選配附件

      日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000規(guī)格:

      項(xiàng)目

      內(nèi)容

      分辨率

      1.2 nm @ 30 kV
      3.0 nm @ 1 kV
      2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1
      3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

      放大倍率

      10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
      30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

      電子光學(xué)系統(tǒng)

      電子槍

      ZrO /W 肖特基式電子槍

      加速電壓

      0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))

      著陸電壓

      減速模式: 0.1 - 2.0 kV 1

      大束流

      > 200 nA

      探測(cè)器

      低位二次電子探測(cè)器

      低真空模式*2

      真空范圍: 10 - 300 Pa

      馬達(dá)臺(tái)

      馬達(dá)臺(tái)控制

      5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)

      可動(dòng)范圍

      X0100mm
      Y050mm
      Z365mm
      T-2090°
      R360°

      大樣品尺寸

      大直徑: 200 mm
      大高度: 80 mm

      選配探測(cè)器

      高分辨率頂位二次電子探測(cè)器*1

      高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD)

      5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3

      能譜儀 (EDS)

      波譜儀 (WDS)

      背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)

      *1:減速功能(包含高分辨率頂位二次電子探測(cè)器)

      *2:低真空功能(包含5分割半導(dǎo)體探測(cè)器)

      *3:空壓機(jī)(本地采購)

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