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產品名稱：場發射掃描電子顯微鏡SU8600系列
產品型號：
產品廠商：日立(Hitachi)

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簡單介紹：

日立SU8600系列場發射掃描電子顯微鏡放大倍數20~2000000x，二次電子像分辨率0.6 nm@15 kV，是一款可大束流分析及長時間穩定運行的冷場式場發射掃描電鏡。日立(Hitachi)場發射掃描電子顯微鏡SU8600系列原生支持雙顯示器，提供靈活、的操作空間。可多達6通道同時顯示與保存，實現快速的多信號觀測與采集。

詳情介紹：

隨著快速數據采集和數據處理技術的發展，電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量，而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術，同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。
*設備照片包含選配項。
日立SU8600系列場發射掃描電子顯微鏡特點：
★高分辨成像
日立的高亮度電子源可力求了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。
★高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
★快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.
★自動化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得、重現性好的圖像數據。
★靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器，提供靈活、的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現快速的多信號觀測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示，可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。

日立SU8600系列場發射掃描電子顯微鏡規格：

機型		SU8600 系列
電子光學系統	二次電子像分辨率	0.6 nm@15 kV
	二次電子像分辨率	0.7 nm@1 kV *
	放大倍率	20 to 2,000,000 x
	電子槍	冷場發射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽烘烤系統。
	加速電壓	0.5 to 30 kV
	著陸電壓 *	0.01 to 20 kV
探測器	（部分為選配項）	上探測器(UD)
		UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號混合功能
		下探測器(LD)
		頂探測器(TD)
		TD能量過濾器
		鏡筒內背散射電子探測器(IMD)
		半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED)
		新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)
		陰熒光探測器(CLD)
		掃描透射探測器(STEM Detector)
附件	（部分為選配項）	導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)
軟件	（部分為選配項）	EM Flow Creater、HD Capture(高 40,960×30,720 像素）
樣品臺	馬達驅動軸	5軸馬達驅動（X/Y/R/Z/T）
	馬達驅動軸	X：0~110 mm
		Y：0~110 mm
		Z：1.5~40 mm
		T：-5~70°
		R：360°
樣品室	樣品尺寸	大直徑：150 mm

*減速模式下

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產品名稱：場發射掃描電子顯微鏡SU8600系列